項目

HD-U3020E

HD-U4030E

HD-U5040E

測量行程（mm）

300*200*200

400*300*200

500*400*200

儀器重量（Kg）

300

320

350

測量精度（μm）

E_（x，Y）:3+L/200   E_（Z）:5+L/200  (L單位mm）

重復精度（μm）

3

玻璃承載（Kg）

30

放大倍率

光學放大倍率0.7~4.5X，影像放大24~156X

（可擴展至12-312X）

光柵尺分辨率

玻璃光柵尺，分辨率0.5μm

CCD

1/3高分辨率彩色相機600TVL

傳動方式

臺灣精密級滾珠絲桿及導軌

運動控制

臺灣臺達，伺服電機

面光源

3區8環LED冷光源，亮度可調

輪廓光源

平行光路LED冷光源，亮度可調

測量軟件

自動測量軟件

操作方式

程序控制+搖桿

選購件

電腦、MCP測頭、自動變焦鏡頭、激光測頭

工作環境

溫度：20℃±2℃,濕度30-80%，遠離振動：＜0.002g，低于15Hz

電源

單相AC 220V/50Hz/10A